江苏省技术产权交易市场

一种三维光子晶体的制备方法
163人浏览  | 交易次数:0次
商品编号
202026104259627107
商品权属
自有
交易方式
技术转让
商品价格
面议

店铺信息

张晨
电话 152xxxx3564
本发明涉及一种光子晶体的制备方法,特指利用多层膜结构和激光技术,制备光子晶体,属于薄膜制备、微纳结构制备技术领域;采用溅射的方法或原子层沉积方法制备氮化铜/氮化物相间的多层膜,在多层膜上采用飞秒激光扫描,制备三维光子晶体。利用氮化铜低温分解效应,再结合多层膜结构和飞秒激光技术,就可形成三维周期结构,调控多层膜各层的厚度,可以方便调控三维光子晶体的光学性质;实验步骤简单,重复性好。
本发明涉及一种光子晶体的制备方法,特指利用多层膜结构和激光技术,制备光子晶体,属于薄膜制备、微纳结构制备技术领域;采用溅射的方法或原子层沉积方法制备氮化铜/氮化物相间的多层膜,在多层膜上采用飞秒激光扫描,制备三维光子晶体。利用氮化铜低温分解效应,再结合多层膜结构和飞秒激光技术,就可形成三维周期结构,调控多层膜各层的厚度,可以方便调控三维光子晶体的光学性质;实验步骤简单,重复性好。
商品类型 专利 申请号 CN201110441138.1 IPC分类号
C23C14/34
专利类型 发明 法律状态 有权 技术领域
新材料
交易方式 技术转让 专利状态 已授权 专利权人
常州大学
暂无数据

购买意向调查