本发明涉及一种光子晶体的制备方法,特指利用多层膜结构和激光技术,制备光子晶体,属于薄膜制备、微纳结构制备技术领域;采用溅射的方法或原子层沉积方法制备氮化铜/氮化物相间的多层膜,在多层膜上采用飞秒激光扫描,制备三维光子晶体。利用氮化铜低温分解效应,再结合多层膜结构和飞秒激光技术,就可形成三维周期结构,调控多层膜各层的厚度,可以方便调控三维光子晶体的光学性质;实验步骤简单,重复性好。
商品类型 | 专利 | 申请号 | CN201110441138.1 | IPC分类号 | |
专利类型 | 发明 | 法律状态 | 有权 | 技术领域 | |
交易方式 | 技术转让 | 专利状态 | 已授权 | 专利权人 |
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